十级洁净氮气柜

十级洁净氮气柜产品应用：

适合半导体前端单晶硅制程中硅片及晶圆盒的存放,防止硅片的返颗粒，返雾现象；由于大部分的存储柜或者是氮气柜设计都为全封闭环境，只控制湿度及氧含量浓度这块，并无自净功能,故内部容易积聚大量灰尘，而这些灰尘极可能粘附在存储品上。松鑫洁净柜则适合存放需要低湿保存，同时又需要避免灰尘污染的物品.

相关技术指标：

1）洁净等级

专业高效洁净过滤装置，材质采用进口PTFE,确保洁净柜内CLASS 10~100级/1000级（10级一般是指空柜或每层放置固定数量晶圆盒情况下，必潔淨度能逹到须满足每立方英尺内颗粒≦10ea@0.3um & ≦20ea@0.2um）。

2）TDH实验

即存放在洁净柜内经过干燥2小时的硅片不能有不正常或超标返颗粒的现象产生(返颗粒取样测试后总数平均数与原有硅片颗粒数对比≦10ea (包括0.2um及0.3um))

3）降湿速度

除湿性能可达到5%以下,空柜或每层放置固定数量晶圆盒，在氮气流量不大于70L/M的情况下，湿度从50%降至10%所需时间不大于30min；

4) 进口无尘风机：采用进口无尘室专用FFU风机，面风速：0.3～0.45m/s；

5）静电残余值测定松鑫全功能洁净氮气柜（选配）

洁净氮气柜内放置的硅片盒，经过干燥2小时后，硅片盒取样及定点测试静电值必须≦1kv

6）柜内风速均匀性

洁净柜内有氮气的无死角，可使用风速测定仪来检测内部硅片放置各点的风速，不能有较大差异。

7）温湿度显示及记录管理。

温湿度显示：采用4英寸超大LED显示，有效视距可达30米；

温湿度显示监控: 可对温湿度作24小时不间断的监控，在洁净柜在完全关闭的情况下，湿度不能有超过±5%RH的波动。

十级洁净氮气柜主要特点：

一、规格尺寸:W1300*D800*H1985mm(也可提供订制)

1、材质：SUS304双镜面

2、工作电压：220V

3、温湿度显示器精度：相对湿度±3%Rh，温度±1℃

二、主要特色

RSD-COL-2M系列是集快速降湿、除尘、氮气节约功能于一体的无尘室储存设备。

洁净氮气柜产品说明：

*控制方式：采用湿度/氧含量控制的方法。

*高洁净过滤器FFU采用美国等进口知名品牌。

*静音离心风机采用德国等进口知名品牌。

*采用高品质静电消除装置。

*对氮气进行前期洁净预处理。

*采用双数显式控制器，对箱内湿度或含氧量进行显示和控制。设备具有很好的密封性能，尘埃过滤，水平或垂直送风。

*设备可由湿度和氮浓度检测显示,氮气流量控制,高洁净过滤器受阻等多个系统.

*控制仪可选配置进行温湿度含氮量数据的实时显示,存储和输出和报警功能。

不锈钢洁净型有四项主要特色：

1、模组化设计：本机器采用独特的模组化设计，温湿度显示器、控制系统、除尘系统及除静电系统均能快速更换，保养及维修简便，大大提升维护效率。

2、弹性设计：整台设备现有除湿、除尘、防静电、氮气节约、数据收集和声光警报功能均可依据客户需求配置。

3、简易的操作：在完成湿度目标值设定后，RSD-COL系列各功能独立性强，开关按键设置简洁明了，操作人员可快速掌握其操作方法。

4、**性设计：内置双重抗干扰设计，可有效解决相邻高压设备带来的干扰和因操作不当导致的电器部件损毁问题。

*型号RSD-COL-2M洁净氮气柜/不锈钢洁净氮气柜/十级洁净氮气柜/10级洁净氮气柜标准。

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